Обнаружение дефектов полупроводников
Технология оптического обнаружения основана на оптических принципах, а результаты обнаружения были получены путем расчета и анализа оптических сигналов. Бесконтактный режим обнаружения технологии оптического обнаружения пластин дает преимущество, заключающееся в разрушении самой пластины посредством пакетного быстрого контроля; может удовлетворить требования производителей пластин к пропускной способности.